2026年3月22-24日，william威廉中文微电子所所长罗翀等7位师生参加在上海举行的集成电路科学技术大会（CSTIC 2026），其中张保国教授担任大会执行委员会委员，周佳凯老师作邀请报告，齐宇航老师参加会议并开展学术交流。硕士研究生马晴、王梦奇、宋少博也参加了本次会议，并分别作口头报告。集中展示了我所在化学机械抛光领域的研究成果和师生良好的学术风貌。

  CSTIC是集成电路技术领域具有重要影响力的国际会议之一，汇聚了来自高校、科研院所和行业企业的专家学者，围绕半导体制造、材料、器件、工艺集成等方向展开深入研讨。会议期间，我所师生认真听取大会报告，积极参与交流讨论，围绕相关前沿问题与国内外同行进行了深入沟通，进一步了解了集成电路制造领域的最新进展与发展趋势。

  我院微电子所长期聚焦化学机械抛光方向研究，在抛光工艺、材料设计、表面质量调控及作用机理等方面持续开展探索。本次参会不仅展示了我所在相关领域的研究积累，也进一步拓展了师生的学术视野，增强了与同行专家的交流联系。未来，微电子所将继续面向微电子制造关键技术需求，深化化学机械抛光领域研究，持续提升科研创新能力和人才培养质量。

图文|周佳凯